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超精密加工機床關鍵技術與應用（第壹頁）

【中國（guó）機床商務網科技動態】傳（chuán）統光學係統因時代（dài）技術（shù）所限，結構和元件形狀都較簡單。傳統光學元件加工，其加工精度依賴的是工藝方法，低精度加工機床仍可達到（dào）高的（de）光學元件加工精度效果。這類機床通常也被稱為“非確定性（Nondeterministic）加工（gōng）機床。采用傳統加工（gōng）方法的（de）“非確定性”加工機床隻適合加工球、平麵等簡（jiǎn）單形狀和玻璃類硬脆（cuì）材料（liào）的光學元件（jiàn）。

       隨著科技的發展，特別是（shì）現代光電子技術、計（jì）算技術（shù）的發展，當今的光學應用係統無論光學元件形麵（miàn）的複雜性、材料的多樣性、小和大兩方麵的幾何尺度都有了巨大的發展變化。傳統的“非確（què）定（dìng）性”加工機床和方法已（yǐ）不能適應現代（dài）光學係統元件加工需求：或是根本無法加工，或是加工（gōng）效率極低。現代超精密加工機床應運而生，它特指“確定性（xìng）”（Deterministic）超精密加工機床。

超精密加工（gōng）機床關鍵技術 　　

         機床（chuáng）係統總體綜合設計（jì）技術。常規機床設（shè）計與製造，各環節技（jì）術上都有很大寬容度。超精密機床各（gè）環節基本都處於一種技術極限或臨界應用狀態，哪個環節稍考慮或處理不周，就會（huì）導致整體失敗。因此，設（shè）計上需對機床係統（tǒng）整體和（hé）各（gè）部（bù）分技術（shù）有著非常（cháng）深入、深刻的了解。需依可（kě）行性，從整體（tǐ）優良（liáng）出發，極其（qí）周詳地進（jìn）行關聯綜合設計。

         高剛性（xìng）、高穩定機（jī）床本體結構設計、製造技術。特別是LODTM機床，由於機身大、自身重，承載工件重量變化大，洪梅數控車床（chuáng），任何微小的變形都會影響（xiǎng）加工精度。結構設計除從材料、結（jié）構形式、工藝（yì）方麵達到要求，還須兼顧機床運（yùn）行時的可操作（zuò）性。

　　超精密工件（jiàn）主軸技術（shù）。

中、小型機床常（cháng）采用空（kōng）氣靜壓主軸方案（àn）。空（kōng）氣靜壓主軸（zhóu）阻尼小，適合高速回轉加工應（yīng）用，但承載能力較小。空氣靜壓主軸回轉精度（dù）可達0.05μm。

　　LODTM機床主軸承載工件尺寸（cùn）、重量大，一般宜采用液體靜壓主軸。液（yè）體靜壓主軸阻尼大、抗振性好、承載力大，但液體靜（jìng）壓主軸高速發熱大，需采取液體冷卻恒溫措施。液體靜壓主軸回轉精度（dù）可達0.1μm。為了保證主軸精度和穩（wěn）定性，無論氣壓源、或液壓源都需恒溫、過濾和（hé）壓力（lì）精密控製處理。、

  超精（jīng）密導軌技術。早（zǎo）期的超精密機（jī）床采用氣浮（fú）靜壓導軌技術。氣浮靜壓（yā）導（dǎo）軌易（yì）於維（wéi）護，但阻尼小，發那（nà）科數控車床，承載抗振性能差，現（xiàn）已（yǐ）較少采（cǎi）用。閉式液體靜壓導軌具有高抗振阻尼（ní）、高剛度、承載力大的優勢。國外主要的超精密加工現主要采用液體靜壓導軌。超精密的液體靜壓導軌的直線度可（kě）達到（dào）0.1μm。

      納米級分辨率動態超精密坐標測量技術。激光幹涉測量是一種高精（jīng）度的標準幾何（hé）量測量基準，但是，易受環境因素（氣壓、濕（shī）度、溫（wēn）度、氣流擾動（dòng）等）影響。為此，美國LLNL的（de）LODTM坐標激（jī）光測量回路采用了真空隔（gé）離，和零溫度係數的殷鋼坐（zuò）標測量框架的措施。這也是激（jī）光坐標測量方麵的（de）高水平應用。

         一件（jiàn）合格鑄鋼件的完成需要在每道（dào）工序上麵下足功夫，從原料（liào）的進廠到加工時候各個工序的檢驗無一都不能掉以輕心，這樣才能生產出合格的鑄鋼件。主要有下麵的（de）幾個步驟（zhòu）：

       1、尺寸檢驗；

　　2、外（wài）觀質量檢驗。這種檢驗主要靠目視檢查，是一個大概的檢（jiǎn）測；

　　3、化學成分檢（jiǎn）驗。對於鑄鋼件的這種檢測可在煉（liàn）鋼水時（shí）檢驗；

　　4、機械性能檢驗。按照重要（yào）的或（huò）合同規定的（de）進行（háng），對（duì）成（chéng）分等進行進一步更嚴格的檢（jiǎn）驗。